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发明名称 Method of exchanging a photoresist spray nozzle and method of coating photoresist
摘要
申请公布号 KR100914178(B1) 申请公布日期 2009.08.26
申请号 KR20070114883 申请日期 2007.11.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;H01L21/00;H01L21/66 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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