一种利用驻波共振耦合电能的磁控放电方法

摘要

本发明公开了一种利用驻波共振耦合电能的磁控放电方法。其特征是在永磁体磁极上安置铁磁性的极靴改变阴极表面的磁场分布，在构成交叉场的磁场中磁场感应强度因在应在50mT-300mT的范围之内，电压的范围是在220-3000V之间，平行电极的方向上磁场和电场正交的交叉场放电形成等离子体静电驻波共振机制耦合电源能量，通过使用频率范围为5Hz-100kHz的高功率脉冲开关电源供电或者直接使用0-3000V的可调直流电源为放电系统提供电能。本发明的有益效果是系统具有结构简单、放电效率高的优点，应用于溅射镀膜时，能够提高薄膜沉积过程中的等离子体离化率，从而达到增强薄膜和基体的结合强度、保证沉积工艺的目的。

主权项

1、一种利用驻波共振耦合电能的磁控放电方法，其特征在于：整个放电系统是在永磁体磁极上安置铁磁性的极靴改变阴极表面的磁场分布，在构成交叉场的磁场中磁场感应强度在50mT-300mT的范围之内，电压的范围是在220-3000V之间，平行电极的方向上磁场和电场正交的交叉场放电形成等离子体静电驻波共振机制耦合电源能量，通过使用频率范围为5Hz-100KHz的高功率脉冲开关电源供电或者直接使用0-3000V的可调直流电源为放电系统提供电能；采用在磁控放电等离子体静电驻波共振机制共振耦合电源能量，电源的供给功率需要和磁场强度通过反馈方式匹配，波动频率在5-100KHz之间，振幅通过电源的电压控制，电源连接到真空室的非平衡磁控电极上，在真空室压力0.1-10Pa下，使用直流和脉冲方式供给磁控放电形成等离子体，由电源功率和频率控制磁控放电等离子体静电驻波共振放电状态。