发明名称 像素结构、显示面板、光电装置及其形成方法
摘要 本发明提供一种像素结构、显示面板、光电装置及其形成方法,包含提供基板;形成图案化介电层于该基板上,且其上定义第一开口,并且第一开口暴露出部分该基板;形成图案化有机材料层于该图案化介电层上,其上定义第二开口,该第二开口对应于部分该第一开口并暴露出已暴露的部分该基板;形成第一阻障层于该暴露出的部分该基板上及该图案化有机材料层上;形成金属层于该暴露出的部分该基板的该第一阻障层上及在该图案化有机材料层的该第一阻障层上;以及除去该图案化有机材料层及位于其上的该第一阻障层及该金属层。本发明具有有效形成金属导线的效果。
申请公布号 CN101515589A 申请公布日期 2009.08.26
申请号 CN200910006442.6 申请日期 2007.06.15
申请人 友达光电股份有限公司 发明人 林汉涂;陈建宏
分类号 H01L27/12(2006.01)I;H01L23/522(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I;G02F1/136(2006.01)I 主分类号 H01L27/12(2006.01)I
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人 姜 燕;陈 晨
主权项 1.一种像素结构,包含:基板,具有至少一个薄膜晶体管区、至少一个扫描线区、至少一个数据线区、至少一个像素区及至少一个电容区;图案化介电层,在该基板上,且其具有多个开口,分别暴露出部分该薄膜晶体管区、部分该扫描线区、及部分该电容区的该基板;第一图案化导线结构,形成于从所述多个开口内暴露出的该薄膜晶体管区、该扫描线区、及该电容区的该基板上;绝缘层,形成于该基板上;有源层,形成于该薄膜晶体管区的该绝缘层上;第二图案化导线结构,形成于该有源层的两端及该数据线区的该绝缘层上;以及图案化保护层,覆盖于该基板上。
地址 中国台湾新竹市