发明名称 具有冗余加速度计的加速传感器
摘要 提供了一种加速度测量系统(200)。该系统(200)包括至少第一和第二加速度计(222,224,225,228,230)。第一加速度计(222)具有随第一轴上的加速度而变化的电特性。第二加速度计(224)也具有随相同的第一轴上的加速度而变化的电特性。控制器(208)可操作地耦合至第一和第二加速度计(222,224,225,228,230),并且提供以第一和第二加速度计(222,224,225,228,230)的电特性为基础的加速度输出(256)。在一方面,加速度系统是类似衬底的传感器(100)形式的。通过从并联的多个冗余加速度计读取信号,可以降低信噪比。
申请公布号 CN101517419A 申请公布日期 2009.08.26
申请号 CN200780034280.6 申请日期 2007.09.27
申请人 赛博光学半导体公司 发明人 伯纳德·J·雷特;安迪·K·利姆;丹尼斯·J·伯恩西奥里尼
分类号 G01P15/08(2006.01)I;G01P15/18(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I 主分类号 G01P15/08(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 王波波
主权项 1、一种加速度测量系统,包括:第一加速度计,具有随第一轴上的加速度而变化的电特性;第二加速度计,具有随所述第一轴上的加速度而变化的电特性;以及控制器,可操作地耦合至所述第一和第二加速度计,所述控制器提供以第一和第二加速度计的电特性为基础的加速度输出。
地址 美国俄勒冈州