具有交错安装图案的单支承结构探针组

摘要

探针组可包括用于测试具有接触焊盘的器件的多个探针。这些探针可包括梁、接触针尖结构、以及安装部分。这些梁可提供受控的探针挠曲。接触针尖结构可连接至梁且可包括用于与器件接触的接触部分。梁的安装部分可附连至支承结构，支承结构可被安排成交错图案。位于交错图案的第一行的梁可包括与梁的第二行的安装部分基本成一条直线的窄化区。

主权项

1.用于测试电子器件的多个探针，所述多个探针包括：设置成接触所述电子器件的接触针尖结构；支承结构；以及弹性部分，所述接触针尖结构附连于所述弹性部分，所述弹性部分提供所述探针的受控挠曲，所述弹性部分包括安装部件，所述支承结构附连至所述安装部件，其中所述安装部件被安排成交错图案，以及位于所述交错图案的第一行的弹性部分包括窄化区，所述窄化区与所述弹性部分的第二行的安装部件基本处于一条直线上。