基板的制造方法

摘要

本发明公开了一种基板的制造方法，包括下列步骤：首先，提供一第一母基板，其至少具有两个第一对位标志。接着，测量这些第一对位标志之间的距离，以得出一第一距离。之后，于第一母基板上形成多个阵列单元。然后，分割第一母基板。此外，测量第一对位标志之间的距离，以得出一第二距离。接着，计算第一距离与第二距离的差值，以得出一补偿值。之后，通过补偿值调整第一对位标志之间的距离，以于一第二母基板上形成至少两个第二对位标志。然后，于第二母基板上形成阵列单元。

主权项

1.一种基板的制造方法，包括：提供一第一母基板，具有多个阵列单元预定区，且该第一母基板至少具有两个第一对位标志；测量该些第一对位标志之间的距离，得出一第一距离；沿该些阵列单元预定区，分割该第一母基板；测量该些第一对位标志之间的距离，得出一第二距离；计算该第一距离与该第二距离的差值，得出一补偿值；以及通过该补偿值调整该些第一对位标志之间的距离，以于一第二母基板上形成至少两个第二对位标志。