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发明名称 APPARATO PER LITOGRAFIA CON RADIAZIONE NELL'UV ESTREMO CON UN ELEMENTO ASSORBITORE DI IDROCARBURI COMPRENDENTE UN MATERIALE GETTER
摘要
申请公布号 ITMI20080282(A1) 申请公布日期 2009.08.23
申请号 IT2008MI00282 申请日期 2008.02.22
申请人 SAES GETTERS S.P.A. 发明人 CONTE ANDREA;MANINI PAOLO
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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