| 摘要 |
<p>【課題】ノズル待機部におけるダミーディスペンスで発生する処理液のミストを抑えノズル待機部から処理ユニットへのミストの漏出を抑制することのできる液処理装置を提供すること。【解決手段】液処理装置に設けられる容器状の液ノズル待機容器１６に、液ノズル１５を挿入する開口部１６ａの周囲に液ノズル１５を挿入した時に開口部１６ａを封止して略密閉するための気密部材３１と、内部の雰囲気を排気する排気管３８と、仮吐出の吐出に同期して排気する時間に、仮吐出の開始前に所定時間排気する時間と、仮吐出の完了後に所定時間排気する時間との少なくとも一方の排気する時間を設定して動作させる制御装置４７とを備える。【選択図】 図３</p> |
