| 摘要 |
Ein Vakuumpump-System wird zur Erzeugung von sehr niedrigen Drücken insbesondere im Bereich von 10-10 mbar mit zwei Mehrstufen-Vakuumpumpen (26) und einer Vorvakuumpumpe (22) verbunden. In den einzelnen seriell angeordneten Vakuumkammern (10, 11, 12, 50, 52) wird ein sich stufenweise erniedrigender Druck erzeugt. Erfindungsgemäß ist die letzte Vakuumstufe, die durch die Pumpe (32) der Mehrfach-Vakuumpumpe (26) gebildet ist, verschlossen. Durch das erfindungsgemäße Verschließen des üblicherweise als Auslass (40) dienenden Anschlusses ist sichergestellt, dass die sich im Bereich der Pumpe (32) befindenden Lager nicht beschädigt werden.
|
