发明名称 Vacuum chuck table for sawing apparatus of semiconductor device
摘要
申请公布号 KR20090008391(U) 申请公布日期 2009.08.20
申请号 KR20080002085U 申请日期 2008.02.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/687 主分类号 H01L21/687
代理机构 代理人
主权项
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