| 摘要 |
Um die Abgase einer Prozessanlage (1), in der ein Prozess mit einem Nichtmetallhalogenid durchgeführt wird, zu reinigen, wird das Abgas (3) mit enem Gas (7) versetzt, das die Rekombination von aus dem Nichtmetallfluorid gebildeten ionisierten Teilchen verhindert. Das Abgas (3, 7) wird dann in einem Gasentladungsraum (25) in ein Plasma übergeführt, in dem das in dem Abgas (3, 7) enthaltende Nichtmetallhalogenid ionisiert wird. Die ionisierten Teilchen, die mit dem ihre Rekombination verhindernden Gas abgesättigt worden sind, können dann aus dem Abgas entfernt werden. |
