发明名称 | 一种用于电子枪的防污板 | ||
摘要 | 一种用于电子枪的防污板,属于电子束蒸发镀膜技术领域。本实用新型包括两部分:固定部分及防污部分,两部分之间的连接角度及形状均是根据电子枪端部安装部位的形状来确定,相对于电子枪的电极板部位,在防污部分开有相通的两长条形槽,对应电子枪灯丝发射出电子束的部位,在防污部分开有用于Y方向磁场扫描的磁力线通过的槽口。本实用新型由于采用一种无磁、耐高温的金属薄板,安装在电子枪端部,使得电子枪灯丝的周围形成一个防护罩,有效地避让开电子枪Y方向磁力扫面的磁力线轨迹,并与电子枪的高压电极保持适当的距离。这样就可以有效的防止电子束蒸发雾中的各种元素对灯丝组件的污染问题,延长了电子枪灯丝的使用寿命,提高了设备的生产率。 | ||
申请公布号 | CN201292400Y | 申请公布日期 | 2009.08.19 |
申请号 | CN200820219645.4 | 申请日期 | 2008.11.21 |
申请人 | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 | 发明人 | 李重茂;姜敏;孟凡荣 |
分类号 | C23C14/26(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/26(2006.01)I |
代理机构 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人 | 许宗富 |
主权项 | 1.一种用于电子枪的防污板,其特征在于:包括两部分:固定部分及防污部分,两部分之间的连接角度及形状均是根据电子枪端部安装部位的形状来确定,相对于电子枪的电极板部位,在防污部分开有相通的两长条形槽,对应电子枪灯丝发射出电子束的部位,在防污部分开有用于Y方向磁场扫描的磁力线通过的槽口。 | ||
地址 | 110168辽宁省沈阳市浑南新区新源街一号 |