用于管理探针卡组件的热感应移动的装置和方法

摘要

一种探针卡组件可包括具有用于与待测试电子器件接触的探针的探针头组件。探针头组件可电连接到配线基板，并机械附加到加强板。配线基板可提供与测试设备的电连接，且加强板可提供用于将探针卡组件附加到测试设备的结构。加强板可具有比配线基板更大的机械强度，并且可比配线基板对热感应移动更不敏感。配线基板可在该配线基板的中心位置附加到加强板。可在配线基板附加到加强板的其它位置提供空间，使得配线基板可相对于加强板膨胀和收缩。

主权项

1. 一种探针卡组件，包括：加强结构，配置成附加到测试装置；探测结构，包括设置成与待测试电子器件接触的多个探针，所述探测结构被固定地附加于所述加强结构使得所述加强结构能抵抗所述探测结构的移动；以及配线基板，配置成向所述探测结构提供电接口，所述配线基板可移动地附加到所述加强结构。