静电吸盘的馈电结构及其制造方法以及静电吸盘的馈电结构的再生方法

摘要

本发明提供一种在金属底板的上表面侧以离金属底板从近到远的顺序具备下部绝缘层、电极层以及表面绝缘介电层的静电吸盘中，下部绝缘层、电极层以及表面绝缘层上难以发生裂纹的静电吸盘的馈电结构。该静电吸盘的馈电结构具有：贯通孔，贯通所述金属底板的上下表面间；馈电端子，配设在该贯通孔内，将从金属底板的下表面供给的电压供给至层叠在上表面侧的电极层；以及绝缘保持部件，由电气绝缘性材料形成，使所述贯通孔的内壁与馈电端子之间绝缘，并且保持所述馈电端子，其中，所述馈电端子具有向金属底板的上表面侧凸出的馈电侧端部，该馈电侧端部的前端，处于所述电极层和下部绝缘层的界面的电极层侧，并位于所述电极层与表面绝缘介电层的界面以下。

主权项

1. 一种在金属底板的上表面侧以离金属底板从近到远的顺序具备下部绝缘层、电极层以及表面绝缘介电层的静电吸盘的馈电结构，其特征在于，所述静电吸盘具备：贯通孔，贯通所述金属底板的上下表面间；馈电端子，配设在该贯通孔内，将从金属底板的下表面供给的电压供给至层叠在上表面侧的电极层；以及绝缘保持部件，由电气绝缘性材料形成，使所述贯通孔的内壁与馈电端子之间绝缘，并且保持所述馈电端子，其中，所述馈电端子具有向金属底板的上表面侧凸出的馈电侧端部，该馈电侧端部的前端，处于所述电极层和下部绝缘层的界面的电极层侧，并位于所述电极层与表面绝缘介电层的界面以下。