电子射线装置的制造方法

摘要

在电子射线发射元件的制造方法中，检测成为阴极基板上的不需要的电子发射部的杂散发射源的位置，在该检测位置上局部地赋予能量，从而除去杂散发射源。由此，提供没有因突发放电而导致的部件劣化、障碍的良好的电子射线装置。

主权项

1.一种电子射线装置的制造方法，其特征在于，具有检测阴极基板上的杂散发射源即SE源的位置的SE源检测工序，和在该SE源检测工序检测到的SE源的位置上局部地赋予除去SE源的能量的SE源除去工序。