发明名称 包括将半导体芯片键合至铜表面的烧结接合部的模块
摘要 本发明涉及一种模块,该模块包括衬底和半导体芯片,该衬底包括第一铜表面。模块包括将半导体芯片直接键合至第一铜表面的第一烧结接合部。
申请公布号 CN101510537A 申请公布日期 2009.08.19
申请号 CN200910009523.1 申请日期 2009.02.16
申请人 英飞凌科技股份有限公司 发明人 卡斯滕·古特;伊万·尼基廷
分类号 H01L23/488(2006.01)I;H01L23/498(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I 主分类号 H01L23/488(2006.01)I
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人 章社杲;李 慧
主权项 1. 一种模块,包括:衬底,包括第一铜表面;半导体芯片;以及第一烧结接合部,将所述半导体芯片直接键合至所述第一铜表面。
地址 德国瑙伊比贝尔格市