光学位相检测的高精度硅微机电陀螺仪

摘要

本发明涉及一种光学位相检测的高精度硅微机电陀螺仪，光源的尾纤与光电探测器的入纤分别和Y型光耦合器的一根光纤熔接，在振梁上做微镜用于反射经Y型光耦合器尾纤的透射光，光电探测器探测微镜上的反射光与Y型光耦合器尾纤端面的反射光在经Y型光耦合器汇合形成的干涉条纹，光电探测器与检测与控制系统连接。本发明采用光学干涉原理，用光学位相测量方法来测量振动质量块的微小位移，从而提高了陀螺的检测灵敏度和读出精度，具有体积小、重量轻、高分辨率、低漂移、响应时间快和高的读出精度的特点，提高了陀螺的动态响应范围和检测精度，同时有利于进行数字滤波与信号传输处理，提高了系统抗干扰能力。

主权项

1、光学位相检测的高精度硅微机电陀螺仪，其特征在于：它包括光源、Y型光耦合器、光电探测器、检测与控制系统和振梁式硅微机电陀螺本体，光源的尾纤和Y型光耦合器的一根光纤熔接，Y型光耦合器的另一根光纤与光电探测器的入纤熔接，Y型光耦合器的尾纤固定，在振梁上做微镜形成反射面用于反射经Y型光耦合器尾纤的透射光，光电探测器用于探测干涉条纹，该干涉条纹因微镜上的反射光与Y型光耦合器尾纤端面的反射光具有不同光程差，在经Y型光耦合器汇合产生干涉而形成，光电探测器信号输出端与检测与控制系统信号输入端连接。