微致动器和锁定开关

摘要

一种微机电致动器(100)采用金属以用于热臂(101)，并采用硅以用于冷臂(105)的至少柔性部分。由硅制成的冷臂(105)联接至随其移动且当至少两个这样的致动器形成开关时用于携带有待切换的信号的金属线路(107)。第一芯片上的这种开关的阵列可以与以倒装芯片的方式结合到该第一芯片上的第二芯片协调地设置，该第二芯片在其上具有将电气控制流传送到各热臂上以便对其加热且传送有待由该各开关进行切换的信号的线路。

主权项

1. 一种包括第一微机电致动器的装置，其包括：至少部分地由金属制成的第一热臂；和具有柔性部分的第一冷臂，所述柔性部分由硅制成，所述第一冷臂联接至所述第一热臂。