| 发明名称 | 一种喷淋头 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种喷淋头，该喷淋头包括外屏蔽罩(1)、进气管(3)和法兰(7)，外屏蔽罩(1)安装在法兰(7)外部，进气管(3)与混气板组件(5)连接，混气板组件(5)与法兰(7)连接，混气板组件(5)与法兰(7)之间安装绝缘物质，进气管(3)的上端安装真空角阀(2)，进气管(3)与混气板组件(5)通过陶瓷管(4)连接，法兰(7)的下部安装匀气盒组件(10)，匀气盒组件(10)的两端与混气板组件(5)连接。它可以在化学反应之前，将反应气体混合均匀，从而大大的提高了涂层的膜厚均匀性，且能够避免在进气管道内的辉光放电。 | ||
| 申请公布号 | CN201292404Y | 申请公布日期 | 2009.08.19 |
| 申请号 | CN200820220261.4 | 申请日期 | 2008.12.03 |
| 申请人 | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 | 发明人 | 孟凡荣;赵科新;郭东民;赵崇凌;王海涛;李重茂 |
| 分类号 | C23C16/50(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/50(2006.01)I |
| 代理机构 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人 | 周秀梅;许宗富 |
| 主权项 | 1、一种喷淋头，该喷淋头包括外屏蔽罩(1)、进气管(3)和法兰(7)，外屏蔽罩(1)安装在法兰(7)外部，进气管(3)与混气板组件(5)连接，混气板组件(5)与法兰(7)连接，混气板组件(5)与法兰(7)之间安装绝缘物质，其特征在于：进气管(3)的上端安装真空角阀(2)，进气管(3)与混气板组件(5)通过陶瓷管(4)连接，法兰(7)的下部安装匀气盒组件(10)，匀气盒组件(10)的两端与混气板组件(5)连接。 | ||
| 地址 | 110168辽宁省沈阳市浑南新区新源街一号 | ||