厚度测量仪

摘要

本实用新型提供了一种厚度测量仪，它包括：基座、测量转台、测量表；基座表面安装有相对基座可转动的测量转台；测量表具有测试头、表盘及操作钮，测试头垂直于所述测量转台所在的平面。该厚度测量仪还包括支架。支架由固定杆和横杆组成，横杆通过穿孔连接块连接固定杆；测量表安装在横杆上，固定杆安装于基座。本实用新型提供的厚度测量仪是在测量转台上放置待测物品—晶圆，因此可解决传统厚度测量仪测量的晶圆尺寸受限的问题。转动测量转台及调节横杆相对固定杆的角度和位置，可快捷地实现测量转台上晶圆不同位置厚度的测量，提高测量效率。

主权项

1、一种厚度测量仪，其特征是，包括：基座、测量转台、支架和测量表；所述测量转台安装在所述基座表面并且可相对基座转动；所述测量表通过支架连接至基座，且所述测量表包括垂直于所述测量转台表面设置的测试头。