用光学方法控制较佳的具有圆形边缘物件的质量的方法和装置

摘要

本发明涉及一种用光学方法检测较佳的具有圆形边缘的物件的质量的方法和装置。根据本发明，使光射向物件的边缘，用一测量装置(1)检测被物件反射、折射和/或衍射的辐射光，其中物件上或物件中的缺陷从检测到的图像信号加以判定。

主权项

1.一种用光学方法检测较佳的具有圆形边缘的物件质量的方法，所述方法包括如下步骤，将光射向该物件的边缘部分上，用至少一个测量单元(1)检测由于反射、折射和/或衍射而从物件辐射的光，处理所述至少一个测量单元检测到的光以产生图像，并评估所生成的图像，以允许识别物件上和/或物件中的缺陷，并对所识别的缺陷自动分类，监控所述物件和所述至少一个测量单元之间的间隔，其中，确定所述至少一个测量单元相对于所述物件的所述边缘部分的确切位置，由垂直馈入装置和水平馈入装置来调节所述间隔，从而使所述间隔在检测过程中自动保持基本恒定。