硅基可集成微型葡萄糖传感器的制作方法

摘要

本发明属于微型生物传感器，一种硅基可集成微型葡萄糖传感器的制作方法。现有的葡萄糖传感器以葡萄糖氧化酶电极作为分子识别及信号转换的器件，稳定性差，限制了以酶为基础的葡萄糖传感器的应用。本发明以P-型单面抛光硅片电化学刻蚀制作硅微通道；在温度80摄氏度的无电电镀溶液中，沉积30-45分钟；取出硅微通道用去离子水冲洗制得。本发明的优点是：采用电化学制程，成本低，操作简单；微通道孔度均匀，比表面积和深宽比大；无电镀镀液配制简单，价格低廉；对葡萄糖的测试不产生影响；三维结构有利于促进葡萄糖与活性物质接触，提高氧化电流；有利于离子的交换反应；器件微型化、集成化，有利于规模化生产。

主权项

1. 一种硅基可集成微型葡萄糖传感器的制作方法，包括以下步骤：(1)以P-型单面抛光硅片电化学刻蚀制作硅微通道；(2)将制备好的硅微通道，放入1％聚乙二醇辛基苯基醚水溶液浸润10～30s进行表面预处理；(3)制作无电电镀溶液：去离子水 1升六水合硫酸镍 1-2摩尔/每升氯化钯 0.2-0.4克十二烷基硫酸钠 0.01-0.02克氟化氨 2.5-7.5摩尔/每升柠檬酸钠 0.2-0.4摩尔/每升氨水 (调节溶液pH值至8.0)；(4)将步骤(2)所得硅微通道用去离子水清洗后放入步骤(3)溶液中，镀液温度在水浴下控制在80℃—85℃，沉积时间30～45min；(5)取出硅微通道用去离子水冲洗。