支撑结构、位置控制系统、光刻设备和位置控制方法

摘要

本发明公开一种可移动支撑结构、位置控制系统、光刻设备和位置控制方法。根据本发明的可移动支撑结构构造成保持可替换物体。该支撑结构包括相对于参照物体可移动地设置的可移动结构、相对于可移动结构可移动地设置并构造成保持可替换物体的物体保持装置、构造成用于相对于参照物体移动可移动结构的致动器、以及构造用于相对于可移动结构移动物体保持装置的极短行程致动器，其中极短行程致动器的刚度基本上比至少一个致动器的刚度大。

主权项

1. 一种构造成保持可替换物体的可移动支撑结构，所述支撑结构包括：相对于参照物体可移动地设置的可移动结构；相对于所述可移动结构可移动地设置并构造成保持可替换物体的物体保持装置；构造成相对于所述参照物体移动所述可移动结构的致动器；和构造成相对于所述可移动结构移动所述物体保持装置的极短行程致动器，其中所述极短行程致动器的刚度基本上大于致动器的刚度。