DEVICE AND METHOD FOR DETERMINING THE LATERAL UNDERCUT OF A STRUCTURED SURFACE LAYER,申请号EP20000916805-传众专利搜索

发明名称	DEVICE AND METHOD FOR DETERMINING THE LATERAL UNDERCUT OF A STRUCTURED SURFACE LAYER
摘要
申请公布号	EP1080492(B1)	申请公布日期	2009.08.19
申请号	EP20000916805	申请日期	2000.03.13
申请人	ROBERT BOSCH GMBH	发明人	BECKER, VOLKER;LAERMER, FRANZ;SCHILP, ANDREA
分类号	H01L21/66;B81C99/00;H01L21/02	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
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