具有负载失配可靠性和稳定性的VHF等离子处理方法和装置

摘要

提供了一种适合于抵抗非线性负载失配状况的等离子处理系统用的射频(RF)发生器装置。该装置包括用来产生RF信号的RF振荡器，响应RF信号以产生VHF RF信号的RF放大器，和耦合到放大器并且用来将等离子室负载的非线性特性从放大器中隔离出来的VHF带循环器，该VHF RF信号有足够的功率来激励等离子室负载。

主权项

1、一种射频发生器装置，用于抵抗非线性负载失配状况的等离子处理系统，所述装置包括：用于产生RF信号的RF振荡器；响应所述RF信号以产生VHF RF信号的RF放大器，该VHF RF信号具有驱动等离子室负载的足够功率；耦合到所述放大器的VHF带循环器，用于将等离子室负载的非线性特性与所述RF放大器隔离；以及仪器板、定向耦合器和感应器，仪器板用于调整所述RF信号的频率；定向耦合器的输入耦合到所述循环器的输出，以从中接收RF功率；感应器用于向所述仪器板提供表示在所述循环器的所述输出的许多RF功率的信号，其中所述仪器板响应所述表示许多RF功率的信号，以调整所述的RF信号的所述频率。