| 发明名称 |
溶胶凝胶法制备氧化锌薄膜晶体管的方法 |
| 摘要 |
本发明提供的是一种溶胶凝胶法制备氧化锌薄膜晶体管的方法。配制含醋酸锌和二乙醇胺的异丙醇溶液；将含醋酸锌和二乙醇胺的异丙醇溶液旋涂或拉膜涂覆于ATO/ITO/glass基体的ATO层上，ATO层和ITO层的厚度分别在400nm以下；在150℃到200℃预热10-15分钟，而后在400℃到650℃下热处理15-20分钟；重复进行涂覆、预热和热处理操作至形成的氧化锌薄膜厚度达到30nm-100nm；用蒸镀方法在氧化锌薄膜表面制备源漏电极阵列。采用本发明的方法制备的氧化锌薄膜场效应晶体管，氧化锌半导体薄膜具有理想的晶形结构和半导体性能，克服了溶液法以外其它方法的生产成本高和其它溶液法制备的氧化锌薄膜场效应晶体管的性能低下的缺点。 |
| 申请公布号 |
CN101510513A |
申请公布日期 |
2009.08.19 |
| 申请号 |
CN200910071288.0 |
申请日期 |
2009.01.16 |
| 申请人 |
哈尔滨工程大学 |
发明人 |
乔英杰;李辰砂 |
| 分类号 |
H01L21/336(2006.01)I;H01L21/368(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/336(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1、一种溶胶凝胶法制备氧化锌薄膜晶体管的方法，其特征是：配制含醋酸锌和二乙醇胺的异丙醇溶液，其中醋酸锌与二乙醇胺的摩尔比为0.1∶1到10∶1，锌离子在溶液中的摩尔浓度为0.01M到0.5M；将含醋酸锌和二乙醇胺的异丙醇溶液旋涂或拉膜涂覆于ATO/ITO/glass基体的ATO层上，ATO层和ITO层的厚度分别在400nm以下；在150℃到200℃预热10-15分钟，而后在400℃到650℃下热处理15-20分钟；重复进行涂覆、预热和热处理操作至形成的氧化锌薄膜厚度达到30nm-100nm；用蒸镀方法在氧化锌薄膜表面制备源漏电极阵列。 |
| 地址 |
150001黑龙江省哈尔滨市南岗区南通大街145号1号楼哈尔滨工程大学科技处知识产权办公室 |
