使用透明的接触元件进行材料加工的装置和方法

摘要

描述了对装置(1)进行准备的方法，用于通过在物体(18)内或在物体上产生光学穿透来进行材料加工，装置具有可变的、三维起作用的焦点调节设备(6、11)，用于把脉冲的加工激光辐射(4)聚焦到在物体(18)内或在物体上的不同位置上，其中，在装置上固定有对加工激光辐射(4)透明的、放到物体(18)上的接触元件(19)，接触元件在其待放到物体(2)上的侧上具有已知形状的弯曲的接触面(20)，在对物体(18)进行加工之前，借助激光辐射(4)照射到接触面上来确定接触面(20)关于焦点调节设备(6、11)的位置，方法是测量激光辐射(4)借助可变的焦点调节设备(6、11)聚焦到接触面(20)上或接触面附近，其中，聚焦的测量激光辐射(3)的能量密度对于产生光学穿透来说太低了，以及测量激光辐射(4)的焦点位置在测量面(23)上进行调整，测量面(23)与接触面(20)的期望位置相交，其中，从测量激光辐射(4)的焦点回散射或反射的辐射被共焦地探测，从共焦探测的辐射和可变的焦点调节设备(6、11)的所属设定测定测量面(23)和接触面(20)之间交点(26)的位置，其中，必要时以改变的、特别是移动的测量面(23)来多次重复上面的步骤，直到探测到一定数量的，优选五个交点(26)，从交点(26)的位置和接触面(20)的已知形状来确定接触面(20)的位置。

主权项

1. 用于对装置(1)进行准备的方法，用于通过在物体(18)内或在物体(18)上产生光学穿透来进行材料加工，所述装置具有可变的、三维起作用的焦点调节设备(6、11)，用于把脉冲的加工激光辐射(4)聚焦到在所述物体(18)内或上的不同位置上，其中-在所述装置上固定有对所述加工激光辐射(4)透明的、待放到所述物体(18)上的接触元件(19)，所述接触元件在其放到所述物体(2)上的侧上具有面(20)，并具有与所述面相对的用于所述加工激光辐射的进入面，所述面和所述进入面分别具有已知的形状，-在对所述物体(18)进行加工之前，所述进入面或所述接触面(20、30)关于所述焦点调节设备(6、11)的位置借助所述激光辐射(4)照射到所述面上来确定，方法是通过：测量激光辐射(4)借助所述可变的焦点调节设备(6、11)聚焦到所述面(20、30)上或所述面(20、30)附近，其中，聚焦的所述测量激光辐射(3)的能量密度对于产生光学穿透来说太低了，以及所述测量激光辐射(4)的焦点在测量面(23)上进行调整，所述测量面(23)与所述面(20、30)的期望位置相交，其特征在于，a)从所述测量激光辐射(4)的所述焦点回散射或反射的辐射被共焦探测；b)从所述被共焦探测的辐射和所述可变的焦点调节设备(6、11)的所属设定，来测定所述测量面(23)和所述面(20、30)之间交点(26)的位置，其中，必要时以改变的、特别是移动的测量面(23)来多次重复步骤a)，直到探测到一定数量的，优选五个交点(26)；c)从所述交点(26)的所述位置和所述面(20、30)的已知形状来确定所述面的位置。