发光元件及其生产方法

摘要

一种具有发光元件部分的发光元件，所述发光元件部分有III族氮化物基化合物半导体形成并具有发光层。在发光元件部分生长在衬底上之后，通过湿腐蚀剥离衬底来形成发光元件部分。发光元件部分具有剥离表面，其如同发光元件部分在衬底上生长时所形成的那样保持基本完好无损。

主权项

1.一种制造发光元件的方法，包括：第一步，在衬底表面上形成缓冲层；第二步，在缓冲层表面上形成发光元件部分，所述发光元件部分包含半导体材料并包括发光层；第三步，通过将发光元件部分开槽来形成到达衬底的切割部分；第四步，将衬底浸泡在腐蚀剂中，和第五步，通过在腐蚀剂中溶解缓冲层，使发光元件部分从衬底上分离；和第六步，收集已分离的发光元件部分。