背板的制造方法、背板、溅射阴极、溅射装置、及背板的清洗方法

摘要

本发明提供实现形成在基板上的薄膜的品质及制造效率的提高的背板的制造方法及与之相关的技术。其解决方案为：利用喷砂材料喷砂处理背板(1)，形成喷砂处理部、在喷砂处理部(5)上，除附着、固定的喷砂材料之外，还存在着刺入的喷砂材料。堆积在刺入的喷砂材料上的膜容易剥离，会作为异物混入到基板上的薄膜内。不能用简单的清洗方法除去刺入喷砂处理部(5)内的喷砂材料。因此，按照超声波清洗→前述侵蚀处理→超声波清洗的顺序清洗背板(1)。由于借助这三个阶段的清洗可以除去刺入喷砂处理部(5)内的喷砂材料，所以，可以实现形成在基板上的薄膜的品质及制造效率的提高。

主权项

1. 一种保持溅射靶用的背板的制造方法，其特征在于，准备背板主体，通过对前述背板主体的作为形成前述溅射靶的区域的形成区域之外的至少一部分进行喷砂处理，形成喷砂处理部，对前述喷砂处理部进行超声波清洗，侵蚀或者利用清洗液喷射清洗被前述超声波清洗过的前述喷砂处理部，再次超声波清洗前述喷砂处理部。