发明名称 照明顶部模块安装调整机构
摘要 本发明公开了一种照明顶部模块安装调整机构,包括一安装座板,所述安装座板和照明顶部模块之间设有一调整定位装置,所述安装座板和照明顶部模块之间还设有一个用于移动照明顶部模块的上下移动与水平移动组合式移转装置。本发明对现有照明顶部模块安装定位调整装置做了较大改进,将上下移动与手动旋转组合式移转装置改为上下移动与水平移动组合式型式移转装置,有效减少了为清洗镜片照明顶部模块所需的活动空间,并且,可以将投影物镜镜片完全露出,便于镜片的清洗操作。该调整定位装置可以对照明顶部模块在六个自由度方向进行调整,并且在每次移动后能够保持高的重复定位精度,因此,降低了对安装座板的加工精度的要求。
申请公布号 CN101509637A 申请公布日期 2009.08.19
申请号 CN200910047575.8 申请日期 2009.03.13
申请人 上海微电子装备有限公司 发明人 程德胜
分类号 F21V14/02(2006.01)I;F21V19/02(2006.01)I;F21V21/34(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)N 主分类号 F21V14/02(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所 代理人 屈 蘅;李时云
主权项 1. 一种照明顶部模块安装调整机构,包括一安装座板,所述安装座板和照明顶部模块之间设有一调整定位装置,其特征在于:所述安装座板和照明顶部模块之间还设有一个用于移动照明顶部模块的上下移动与水平移动组合式移转装置。
地址 201203上海市张江高科技园区张东路1525号