压电振动片及其制造方法、包括其的装置、晶圆及其夹具

摘要

本发明涉及压电振动片及其制造方法、包括其的装置、晶圆及其夹具，具体而言，为了有效地制造高质量的压电振动片，而与晶圆的外部形状的精度无关，提供一种利用晶圆(S)一次制造多个压电振动片的方法，该方法包括：形成两个或更多个通孔(40)并同时利用通孔形成多个压电板(10)的外部形状的步骤，其利用光刻技术刻蚀晶圆并且利用通孔的中心构造参考点；准备用于晶圆的夹具的步骤，该夹具具有数量与通孔的数量相等且从平板部上方突出的插入销，其后在将插入销插入通孔的状态下将晶圆安装在平板部上；在多个压电板的外表面上形成电极的步骤；和进行切割以使多个压电板从晶圆分离成片段的步骤。

主权项

1. 一种利用晶圆一次制造多个压电振动片的方法，所述多个压电振动片各包括由压电材料制成的压电板和形成在所述压电板的外表面上的电极，所述电极用于当向其施加预定电压时使所述压电板振动，所述方法包括：外部形状形成步骤，利用光刻技术刻蚀所述晶圆，形成穿过所述晶圆的两个或更多个通孔，并且利用所述通孔的中心构成参考点，在所述晶圆上形成所述多个压电板的外部形状；晶圆安置步骤，准备用于所述晶圆的夹具，所述夹具具有平板部和插入销，所述插入销形成为其数量与所述通孔的数量相等，且从所述平板部的上方突出，其后，在将所述插入销插入所述通孔的状态下将所述晶圆安装在所述平板部上；电极形成步骤，通过在所述多个压电板的外表面上图案化所述电极膜而形成电极；和切割步骤，进行切割以将所述晶圆上的所述多个压电板分离成片段；其中，在所述电极形成步骤和所述切割步骤中，通过利用所述通孔的中心构成参考点，执行对所述晶圆的定位。