| 发明名称 | 垫表面上具有微槽的抛光垫 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种抛光垫，其可包括多个直径在大约5-80微米的范围内的可溶纤维，以及不可溶成分。该垫还可包括具有多个微槽的第一表面，其中可溶纤维在垫中形成微槽。微槽可具有直到大约150微米的宽度和/或深度。另外，本发明还公开了形成抛光垫的方法以及用抛光垫抛光表面的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN101511533A | 申请公布日期 | 2009.08.19 |
| 申请号 | CN200780032466.8 | 申请日期 | 2007.07.19 |
| 申请人 | 因诺派德公司 | 发明人 | 许启智;M·C·金;D·A·韦尔斯;J·E·奥尔德伯勒 |
| 分类号 | B24B1/00(2006.01)I;B24D11/00(2006.01)I | 主分类号 | B24B1/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 董 敏 |
| 主权项 | 1. 一种抛光垫，其包括：直径在大约5-80微米的范围内的多个可溶纤维，以及不可溶成分，其中所述垫包括具有多个微槽的第一表面，其中所述可溶纤维在所述垫中形成宽度和/或深度在直到大约150微米的范围内的所述微槽。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞 | ||