标记位置检测装置

摘要

标记位置检测装置有一个用照明光对测量标记照明的照明光学系统和会聚从测量标记反射的光、以在图像拾取装置上形成测量标记的像的成像光学系统。标记位置检测装置通过处理图像拾取装置获得的图像信号测量测量标记的位移。标记位置检测装置有一个设置在照明光学系统中的光学元件，用于补偿图像信号的依赖于照明光波长的非对称性差异。

主权项

1.一种标记位置检测装置，该装置包括：照明光学系统，用照明光对测量标记照明；和成像光学系统，会聚从所述测量标记反射的光、以在图像拾取装置上形成所述测量标记的像，并通过处理由所述图像拾取装置获得的图像信号测量所述测量标记的位移；其中在所述照明光学系统中设置一个光学元件，用于补偿依据所述照明光波长的所述图像信号非对称性的差异，所述照明光学系统沿着照明光通过的方向还包括照明孔径光阑(12)与会聚透镜(14)，所述光学元件设置在所述照明光学系统的平行光通量部分中，并位于照明孔径光阑(12)与会聚透镜(14)之间。