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经营范围
发明名称
ELLIPSOMETER AND ELLIPSOMETRY
摘要
申请公布号
EP1666869(A4)
申请公布日期
2009.08.19
申请号
EP20040704745
申请日期
2004.01.23
申请人
PHOTONIC LATTICE INC.;JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY
发明人
KAWAKAMI, SHOJIRO;SATO, TAKASHI,;HASHIMOTO, NAOKI;SASAKI, YOSHIHRO
分类号
G01N21/21;G01B11/06;G01J4/04
主分类号
G01N21/21
代理机构
代理人
主权项
地址
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