发明名称 |
用于在具有非恒定速度的时段期间进行激光处理的系统和方法 |
摘要 |
公开了一种利用脉冲激光输出快速地处理一组结构(16)中的至少一个结构(16)的方法。该方法包括以下步骤:将所述组结构(16)和脉冲激光输出轴线以非恒定速度相对定位;以及在将所述组结构(16)和脉冲激光输出轴线以非恒定速度相对定位的步骤期间向所述组结构(16)的至少一个结构(16)施加脉冲激光输出。 |
申请公布号 |
CN101511524A |
申请公布日期 |
2009.08.19 |
申请号 |
CN200780033017.5 |
申请日期 |
2007.06.29 |
申请人 |
杰斯集团公司 |
发明人 |
S·D·约翰逊;顾渤 |
分类号 |
B23K26/08(2006.01)I;B23K26/40(2006.01)I;B23K26/06(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I;H01L23/525(2006.01)I |
主分类号 |
B23K26/08(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
李镇江 |
主权项 |
1、一种利用脉冲激光输出快速地处理一组结构中的至少一个结构的方法,该方法包括以下步骤:将所述组结构和脉冲激光输出轴线以非恒定速度相对定位;以及在将所述组结构和脉冲激光输出轴线以非恒定速度相对定位的步骤期间向所述组结构中的所述至少一个结构施加脉冲激光输出。 |
地址 |
美国马萨诸塞 |