发明名称 VAKUUMBESCHICHTUNGSANLAGE
摘要
申请公布号 AT437976(T) 申请公布日期 2009.08.15
申请号 AT20060012805T 申请日期 2006.06.22
申请人 APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG 发明人 HENRICH, JUERGEN;SAUER, ANDREAS;WURSTER, HARALD;HABERKORN, EDGAR
分类号 C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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