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发明名称 Baugruppe aus optischem Element und Fassung
摘要
申请公布号 DE59915045(D1) 申请公布日期 2009.08.13
申请号 DE19995015045 申请日期 1999.05.27
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 HOLDERER, HUBERT;RUEMMER, PETER;TRUNZ, MICHAEL
分类号 G02B7/00;G02B7/02;G03F7/20 主分类号 G02B7/00
代理机构 代理人
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