发明名称 METHOD TO PRODUCE NANOMETER-SIZED FEATURES WITH DIRECTED ASSEMBLY OF BLOCK COPOLYMERS
摘要 <p>Methods for fabricating stamps and systems for patterning a substrate, and devices resulting from those methods are provided.</p>
申请公布号 WO2009099924(A2) 申请公布日期 2009.08.13
申请号 WO2009US32564 申请日期 2009.01.30
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC.;MILLWARD, DAN, B.;SANDHU, GURTEJ, S. 发明人 MILLWARD, DAN, B.;SANDHU, GURTEJ, S.
分类号 G03F7/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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