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发明名称 Lithographiegerät mit Elektronenkanone
摘要
申请公布号 DE60042468(D1) 申请公布日期 2009.08.13
申请号 DE20006042468 申请日期 2000.05.05
申请人 LUCENT TECHNOLOGIES INC. 发明人 KATSAP, VICTOR;LIDLLE, JAMES ALEXANDER;WASKIEWICZ, WARREN KAZMIR
分类号 G03F7/20;H01J37/065;H01J37/06;H01J37/305;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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