发明名称 一种单晶吸尘泵控制装置
摘要 本实用新型公开了一种单晶吸尘泵控制装置。包括开关电源(S1),开关电源(S1)的直流输出端“+”极与可编程控制器(IC1)的L端连接,开关电源(S1)的直流输出端“-”极与可编程控制器(IC1)的N端连接;可编程控制器(IC1)上设有一组输出接口、一组输入接口、一组交流电源接口和一组直流电源接口;一组输出接口分别与执行元件和指示元件连接;一组输入接口分别与指令元件和保护元件连接。本实用新型可提高单晶吸尘泵的自动化水平,并可同时控制两套单晶吸尘泵,操作简单。
申请公布号 CN201288224Y 申请公布日期 2009.08.12
申请号 CN200820302773.5 申请日期 2008.11.13
申请人 湖州新元泰微电子有限公司 发明人 何紫平;胥敬东;丁宇翔
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I 主分类号 C30B15/00(2006.01)I
代理机构 贵阳中新专利商标事务所 代理人 刘 楠;程新敏
主权项 【权利要求1】一种单晶吸尘泵控制装置,其特征在于:包括开关电源(S1),开关电源(S1)的直流输出端“+”极与可编程控制器(IC1)的L端连接,开关电源(S1)的直流输出端“-”极与可编程控制器(IC1)的N端连接;可编程控制器(IC1)上设有一组输出接口、一组输入接口、一组交流电源接口和一组直流电源接口;一组输出接口分别与执行元件和指示元件连接;一组输入接口分别与指令元件和保护元件连接。
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