发明名称 |
一种单晶吸尘泵控制装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种单晶吸尘泵控制装置。包括开关电源(S1),开关电源(S1)的直流输出端“+”极与可编程控制器(IC1)的L端连接,开关电源(S1)的直流输出端“-”极与可编程控制器(IC1)的N端连接;可编程控制器(IC1)上设有一组输出接口、一组输入接口、一组交流电源接口和一组直流电源接口;一组输出接口分别与执行元件和指示元件连接;一组输入接口分别与指令元件和保护元件连接。本实用新型可提高单晶吸尘泵的自动化水平,并可同时控制两套单晶吸尘泵,操作简单。 |
申请公布号 |
CN201288224Y |
申请公布日期 |
2009.08.12 |
申请号 |
CN200820302773.5 |
申请日期 |
2008.11.13 |
申请人 |
湖州新元泰微电子有限公司 |
发明人 |
何紫平;胥敬东;丁宇翔 |
分类号 |
C30B15/00(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B15/00(2006.01)I |
代理机构 |
贵阳中新专利商标事务所 |
代理人 |
刘 楠;程新敏 |
主权项 |
【权利要求1】一种单晶吸尘泵控制装置,其特征在于:包括开关电源(S1),开关电源(S1)的直流输出端“+”极与可编程控制器(IC1)的L端连接,开关电源(S1)的直流输出端“-”极与可编程控制器(IC1)的N端连接;可编程控制器(IC1)上设有一组输出接口、一组输入接口、一组交流电源接口和一组直流电源接口;一组输出接口分别与执行元件和指示元件连接;一组输入接口分别与指令元件和保护元件连接。 |
地址 |
313009浙江省湖州市南浔区华侨投资区2号路 |