发明名称 |
一种消除双作用气缸换向抖动的控制装置 |
摘要 |
本发明公开了一种消除双作用气缸换向抖动的控制装置,连接于双作用气缸的两进气端控制其运动,控制装置包括:换向阀、双向调速阀与节流阀,换向阀的进口接气源,换向阀的一个出口通过双向调速阀接双作用气缸的一个进气端,换向阀的另一个出口通过节流阀接双作用气缸的另一个进气端。另外,控制装置中还包括检测单元与自动控制单元,用于检测双作用气缸运行情况,进而控制双作用气缸的工作。通过该控制装置可以消除气缸启动时活塞杆的“急速伸出”现象,也就是消除双作用气缸的换向时的“抖动”现象。提高双作用气缸稳定性与可靠性,同时不影响双作用气缸的运行时间要求。 |
申请公布号 |
CN100526660C |
申请公布日期 |
2009.08.12 |
申请号 |
CN200610165298.7 |
申请日期 |
2006.12.15 |
申请人 |
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
发明人 |
王志升 |
分类号 |
F15B21/00(2006.01)I;F15B13/044(2006.01)I;F15B15/26(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I |
主分类号 |
F15B21/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京凯特来知识产权代理有限公司 |
代理人 |
赵镇勇;郭宗胜 |
主权项 |
1、一种消除双作用气缸换向抖动的控制装置,连接于双作用气缸的两进气端控制双作用气缸的运动,其特征在于,所述的控制装置包括:换向阀、双向调速阀与节流阀,换向阀的进口接气源,换向阀的一个出口通过双向调速阀接双作用气缸的一个进气端,换向阀的另一个出口通过节流阀接双作用气缸的另一个进气端;所述双向调速阀包括两个串联的单向节流阀,两个串联的单向节流阀中的单向阀的布置方向相反;所述的控制装置还包括变速装置,变速装置包括第一两位二通阀和第二两位二通阀,第一两位二通阀安装于设有双向调速阀的进气管路上,与所述双向调速阀串联,第二两位二通阀并联于串联连接的所述双向调速阀与第一两位二通阀的两端。 |
地址 |
100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 |