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发明名称
摘要
申请公布号 JP4313797(B2) 申请公布日期 2009.08.12
申请号 JP20050500556 申请日期 2003.06.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/8246;H01L21/00;H01L21/316;H01L21/8242;H01L21/84;H01L27/04;H01L27/105;H01L27/115;H04B3/00 主分类号 H01L21/8246
代理机构 代理人
主权项
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