电阻转换存储器及其制造方法

摘要

本发明揭示一种电阻转换存储器及其制造方法，所述电阻转换存储器包括：基底、逻辑电路、字线、位线、若干分立的存储单元、隔离单元；通过扩散效应，使所述存储单元中存储材料的部分原子扩散到第一导电类型的半导体字线中，在接触界面形成对半导体字线的综合效应为第二导电类型的掺杂；经存储材料原子扩散掺杂形成的第二导电类型区域与第一导电类型半导体字线之间形成二极管，该二极管作为选通单元对上方的存储单元进行选通。电阻转换存储器所采用的存储材料在器件中具有多种功能，既作为高、低电阻转换的媒介材料，同时也是杂质材料，能通过扩散效应对与其接触的半导体进行掺杂，从而用简便的方法形成二极管作为逻辑单元选通存储器单元。

主权项

1、一种电阻转换存储器，其特征在于，其包括：基底；逻辑电路；字线，其为具有第一导电类型的半导体字线；位线，位于字线上方；若干分立的存储单元，位于字线与位线之间；通过扩散效应，使所述存储单元中存储材料的部分原子扩散到所述第一导电类型的半导体字线中，在接触界面形成对半导体字线的综合效应为第二导电类型的掺杂；经存储材料原子扩散掺杂形成的第二导电类型区域与第一导电类型半导体字线之间形成二极管结构，该二极管结构作为选通单元对上方的存储单元进行选通；隔离单元，用以隔离各字线以及各二极管和存储单元，使其相互之间电学隔离。