空心底栅阵列结构的平板显示器及其制作工艺

摘要

本发明涉及一种空心底栅阵列结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阴极玻璃面板、阳极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阴极玻璃面板上有阴极导电层、碳纳米管以及空心底栅阵列结构；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，能够进一步减小栅极结构对电子束的截留，增大器件的显示亮度，增强碳纳米管阴极的电子发射面积和数量，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

主权项

1、一种空心底栅阵列结构的平板显示器，包括由阴极玻璃面板(1)、阳极玻璃面板(9)和四周玻璃围框(15)所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层(10)、制备在阳极导电层上面的荧光粉层(12)以及在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层(11)；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构(14)以及消气剂附属元件(13)，其特征在于：在阴极玻璃面板上有阴极导电层(6)、碳纳米管(8)以及空心底栅阵列结构；所述的空心底栅阵列结构的衬底材料为玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的刻蚀后的二氧化硅层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层为类四方环形形状，即从俯视角度看，外围是一个四方形，内部是中空的圆形形状；相邻的类四方环形形状之间有引线相互连接，且是通过类四方环形形状的对角线定点进行相互连接的；类四方环形形状以及通过对角线定点进行相互连接的引线共同构成了栅极引线层，相邻的栅极引线层是互不连通的；栅极引线层上面的刻蚀后的二氧化硅层形成隔离层；隔离层要完全覆盖住栅极引线层；隔离层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层的图案与栅极引线层图案完全相同，但是阴极引线层的走向与栅极引线层的走向是相互垂直的，即中间类四方环形形状的图案完全相同，而阴极引线层之间的类四方环形形状相连是通过区别于栅极引线层的另外两个对角线顶点进行相互连通的；阴极引线层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层的形状与阴极引线层中的类四方环形形状的图案完全相同，且仅仅位于阴极引线层中的类四方环形形状的上面；阴极引线层上面的刻蚀后的二氧化硅层形成阴极覆盖层；阴极覆盖层要完全覆盖住除了阴极导电层区域以外的其余区域，其中包括相邻类四方环形形状之间的引线部分和类四方环形形状中间的中空圆形孔部分以及阴极引线层以外的空余的隔离层部分；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。