对电子元件的球和类似突起作三维视觉以及检查的方法和装置

摘要

公开了一种三维视觉检查对象诸如电子元件的方法，该电子元件具有作为待检查特征的突起，诸如输入/输出接触球。该方法包括以下步骤：确定一对照相机的内部和外部参数；由两个照相机的参数形成校正的坐标系，该参数是在前面就第二图像捕捉装置关于第一图像捕捉装置的相对姿态而确定的。由照相机系统捕捉对象的一对图像，该对象在一表面上具有多个共面的突起，其中图像的图像坐标被变换成校正的坐标系的坐标。然后，为测量每个突起的共面性以及高度，确定每个突起的共轭点。也公开了用于捕捉图像和处理图像数据的装置的不同布局。

主权项

1. 一种三维视觉检查对象的方法，该对象包括微电子元件，其具有作为待检查特征的突起，其中所述突起具有非平面的和/或弯曲的表面，所述方法包括以下步骤：(a)提供具有相似内部参数的至少一对图像捕捉装置，其以立体视觉布局被布置；(b)校准每个所述图像捕捉装置以确定所述图像捕捉装置的内部和外部参数；(c)由两个图像捕捉装置的参数形成校正的坐标系，该参数是在前面就第二图像捕捉装置关于第一图像捕捉装置的相对姿态而确定的；(d)使用每个所述图像捕捉装置捕捉待检查对象的图像，其中所述对象具有多个共面的突起并且捕捉的所述图像具有每个所述突起的至少一个表面弯曲；(e)校正每个图像的坐标以在所述校正的坐标系中产生一对校正图像；(f)为在每个所捕捉该对图像上的每个突起的中心确定共轭点；以及(g)测量每个突起在校正的坐标系内与至少一个图像捕捉装置的距离以及突起的共面性。