激光聚焦式测头应用于特殊结构测量中的标定和扫描方法

摘要

本发明为激光聚焦式测头应用于特殊结构测量中的标定和扫描方法。通过对具有多种材料表面的被测样品进行预先多次标定，在扫描过程中通过自动或手动设置FES信号线性拟合系数，对具有多种材料表面的被测样品进行焦平面位置修正。本发明在不改变原有测量系统硬件结构的基础上，克服激光聚焦方法在测量对象和分辨力上的缺陷，拓展了该方法的应用领域。

主权项

1、激光聚焦式测头应用于特殊结构测量中的标定和扫描方法，包括如下步骤：1)在具有两种和两种以上表面材料的器件和结构表面，使聚焦式测头在每个表面进行单独的预先标定，记录各表面聚焦信号参数；2)以标定后得到的聚焦信号参数作为扫描平台的反馈控制信号，初始化聚焦信号的突变阈值范围；并确认被测样品一直处于激光的焦平面上；3)对被测样品表面开始扫描，在扫描过程中判断聚焦信号是否超出突变阈值范围；若超出突变阈值范围，则判断发生突变的原因，手动或自动切换聚焦信号参数，修正测量激光的焦平面位置。