气体传感器芯片以及具有该芯片的气体传感器

摘要

本发明提供即使设置在例如排气流动的锅炉烟道这样的恶劣环境中也能够长期得到稳定的输出特性的气体传感器芯片以及具有该气体传感器芯片的气体传感器。气体传感器芯片具有背侧结构，即：在传热体(113)的一方侧配置与被测定气体接触的催化剂载体，在传热体的另一方侧、即不与被测定气体接触的区域配置温度检测部(120)，并且温度检测部隔着传热体对与催化剂载体的温度对应的温度进行测定，从而使温度检测部能够长期进行流量检测而不会受到被测定气体的不良影响。

主权项

1. 一种气体传感器芯片，其特征在于，具有背侧结构，即：在传热体的一方侧配置与被测定气体接触的催化剂载体，在所述传热体的另一方侧且是不与被测定气体接触的区域配置温度检测部，并且所述温度检测部隔着所述传热体对与所述催化剂载体的温度对应的温度进行测定。