短波长光源和激光图像形成装置

摘要

本发明提供一种短波长光源，包括具有基波入射的入射面和高谐波射出的出射面、将上述基波转换为上述高谐波的波长转换元件，和保持上述波长转换元件的保持部。上述波长转换元件，在作为上述波长转换元件的上述出射面一侧的部分区域的指定区域，上述波长转换元件进行波长转换时因上述高谐波的吸收引起的发热而导致的上述基波和上述高谐波之间的相位匹配条件的变动得以抑制。

主权项

1. 一种短波长光源，其特征在于包括：波长转换元件，具有基波入射的入射面和高谐波射出的出射面，将所述基波转换为所述高谐波；和保持部，保持所述波长转换元件，其中，所述波长转换元件，在作为所述波长转换元件的所述出射面一侧的部分区域的指定区域，具有使相位匹配条件的变动得以抑制的结构，其中，所述相位匹配条件的变动是指当所述波长转换元件进行波长转换时因所述高谐波的吸收引起的发热而导致的所述基波和所述高谐波之间的相位匹配条件的变动。