一种基于Fringe Zernike多项式的光机热集成分析方法

摘要

一种基于Fringe Zernike多项式的光机热集成分析方法，其特征在于包括以下步骤：(1)将光学系统的有限元结果进行坐标变换和数据处理，转化为适合光学分析软件的数据格式；(2)设置Fringe Zernike多项式项数并求解多项式，进行面型拟合，将拟合结果写入dat文件；(3)利用dat文件作为Zernike拟合与光学分析软件的接口，实现对光学系统进行光机热集成分析。本发明方法简单，更易技术实现；能够根据求解的需要，通过改变输入参数任意设置Fringe Zernike多项式项数进行面型拟合，并可对其进行无限项求解，具有很强的灵活性。

主权项

1、一种基于Fringe Zernike多项式的光机热集成分析方法，其特征在于包括以下步骤：(1)将光学系统的有限元结果进行坐标变换和数据处理，转化为适合光学分析软件的数据格式；(2)设置Fringe Zernike多项式项数并求解多项式，进行面型拟合，将拟合结果写入dat文件；(3)利用dat文件作为Zernike拟合与光学分析软件的接口，实现对光学系统进行光机热集成分析。