衍射光栅元件及其制造方法和设计方法

摘要

本发明提供一种衍射光栅元件及其制造方法和设计方法。在衍射光栅元件(10)中，在第1介质(11)和第4介质(14)之间，交互设置第2介质(12)和第3介质(13)形成衍射光栅。从第1介质(11)入射到衍射光栅的光被衍射光栅部衍射，出射到第4介质(14)。或者，从第4介质(14)入射到衍射光栅的光被衍射光栅部衍射出射到第1介质(11)。各介质的折射率n₁～n₄满足n₃＜n₁＜n₂，n₃≤n₄≤n₂或者n₃≤n₁≤n₂，n₃＜n₄＜n₂这样的关系式。

主权项

1. 一种衍射光栅元件，其特征在于具有：基板；设置在上述基板上的第1反射抑制部；设置在上述第1反射抑制部上的衍射光栅部；和设置在上述衍射光栅部上的第2反射抑制部，上述第2反射抑制部与第1介质相接，在上述衍射光栅部上通过在平行于上述基板的预定方向上交互设置第2介质和第3介质而设置有衍射光栅，在1. 26μm～1.675μm的波长区域存在反射率达到10％以下的波长，当顺序地排列上述基板、上述第1反射抑制部、上述衍射光栅部以及上述第2反射抑制部的方向为z方向，上述预定方向为x方向，折射率分布为n(x，z)，上述衍射光栅的周期为Λ，平均折射率nav(z)为，折射率调制Δn(z)为，自z方向的位置z1到位置z2的衍射能力P(z1，z2)为时，上述衍射光栅部的衍射能力大于上述衍射光栅部、上述第1反射抑制部以及上述第2反射抑制部的整体的衍射能力的50％。